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MKS AX8403A气体发生器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：MKS Instruments 的 AX8403A 是一款臭氧发生器，主要用于需要高浓度、超洁净臭氧的工业和实验室应用。主要特点：高浓度臭氧输出：通过无声放电技术，将纯氧转化为高浓度臭氧，适用于需要高纯度臭氧的工艺
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