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AE APEX5513 射频发生器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：AE APEX5513 是由 Advanced Energy（AE）公司生产的一款高性能射频（RF）发生器，广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、等离子体处理等领域。主要特点：高功率密度：提供高达 1.5 kW 的输出
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