MKS AX8407 臭氧气体发生器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

MKS Instruments 的 SEMOZON® AX8407 是一款高浓度、高流量的臭氧发生器，采用无声放电技术将纯氧转化为臭氧，具有高输出和高浓度水平。该设备仅需极少量的氮气掺杂，氮氧化物（NOx）排放极低，适用于半导体制造等高要求应用。

主要技术规格：

• 臭氧输出：最高可达 335 g/Nm³
• 流量范围：5 至 40 slm
• 原料气体：
• 氧气：6 级或更高纯度 O₂
• 氮气：100 至 1000 ppm，5 级或更高纯度 N₂
• 腔室压力：15 至 45 psig（100 至 310 kPa）
• 冷却水温度：5 至 25°C
• 控制方式：前面板控制和远程操作
• 电源要求：208 VAC（±10%），三相，无中性线，15A，50/60 Hz
• 尺寸：483 × 445 × 267 mm（宽 × 深 × 高）
• 重量：59 kg（130 磅）

应用领域：

AX8407 主要用于半导体制造，包括：

• 化学气相沉积（CVD）
• 光刻胶去除
• 晶圆清洗
• 先进封装和显示面板制造

该设备以其高效、低污染的特性，成为高科技制造工艺中可靠的臭氧气源。

英文资料：

SEMOZON from MKS Instruments ®  AX8407 is a high concentration, high flow ozone generator that uses silent discharge technology to convert pure oxygen into ozone, with high output and high concentration levels. This device requires only a minimal amount of nitrogen doping and has extremely low nitrogen oxide (NOx) emissions, making it suitable for high demand applications such as semiconductor manufacturing.

Main technical specifications:

Ozone output: up to 335 g/Nm ³

Flow range: 5 to 40 slm

Raw material gas:

Oxygen: Grade 6 or higher purity O ₂

Nitrogen: 100 to 1000 ppm, grade 5 or higher purity N ₂

Chamber pressure: 15 to 45 PSI (100 to 310 kPa)

Cooling water temperature: 5 to 25 ° C

Control mode: front panel control and remote operation

Power requirements: 208 VAC (± 10%), three-phase, no neutral wire, 15A, 50/60 Hz

Size: 483 × 445 × 267 mm (width × depth × height)

Weight: 59 kg (130 pounds)

Application areas:

AX8407 is mainly used in semiconductor manufacturing, including:

Chemical Vapor Deposition (CVD)

Photoresist removal

Wafer Cleaning

Advanced packaging and display panel manufacturing

This device, with its high efficiency and low pollution characteristics, has become a reliable source of ozone gas in high-tech manufacturing processes.

2.产      品      展      示      

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