MKS 979B-01-0013 真空传感器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

MKS 979B-01-0013 是一款高精度的真空压力传感器，属于 MKS Instruments 的 Baratron® 系列，广泛应用于半导体制造、真空系统控制和精密气体测量领域。

主要技术参数

• 测量范围： 0-100 托
• 精度： 0.05%
• 长期稳定性： 0.01%/年
• 重复性： 0.02%
• 响应时间： <1 毫秒
• 输出信号： 0-5V
• 供电电压： 24V DC

应用领域

• 半导体制造： 适用于蚀刻、沉积、离子注入等精密工艺
• 薄膜沉积： 可用于 PVD、CVD、ALD 工艺
• 真空镀膜： 应用于光学镀膜、金属镀膜等行业
• 气体分析： 适用于色谱、质谱和红外光谱等精密仪器
• 科研实验： 物理、化学、材料科学等领域的实验室真空测量

该传感器采用电容式压力测量技术，能够在高真空环境下提供极高的稳定性和精确度，是许多高端工业和科研应用的理想选择。

英文资料：

MKS 979B-01-0013 is a high-precision vacuum pressure sensor belonging to MKS Instruments' Baratron ®  Series, widely used in semiconductor manufacturing, vacuum system control, and precision gas measurement fields.

Main technical parameters

Measurement range: 0-100 pallets

Accuracy: 0.05%

Long term stability: 0.01%/year

Repeatability: 0.02%

Response time:<1 millisecond

Output signal: 0-5V

Supply voltage: 24V DC

application area 

Semiconductor manufacturing: suitable for precision processes such as etching, deposition, ion implantation, etc

Thin film deposition: can be used for PVD, CVD, ALD processes

Vacuum coating: applied in industries such as optical coating and metal coating

Gas analysis: suitable for precision instruments such as chromatography, mass spectrometry, and infrared spectroscopy

Research experiments: Laboratory vacuum measurement in fields such as physics, chemistry, materials science, etc

This sensor adopts capacitive pressure measurement technology, which can provide extremely high stability and accuracy in high vacuum environments, making it an ideal choice for many high-end industrial and scientific research applications.

2.产      品      展      示      

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