Gasonics A93-021-05/D磁控波导模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

产品概述
该磁控波导模块用于高效传输微波能量，配合磁控管产生稳定的等离子体，广泛应用于微波等离子体处理系统中。

应用领域

1. 半导体制造

• 等离子体刻蚀工艺中的微波能量传输

• 化学气相沉积（CVD）薄膜生长过程

2. 材料表面处理

• 表面改性、清洗和活化工艺

• 微波辅助涂层沉积

3. 科研及工业微波等离子体设备

• 各类实验室和工业级微波等离子体反应器

• 用于开发和优化等离子体工艺

总结
Gasonics A93-021-05/D 磁控波导模块是半导体和材料处理领域微波等离子体系统中的关键部件，保障微波能量高效传输和工艺稳定性。

英文资料：

product overview

This magnetron waveguide module is used for efficient transmission of microwave energy and, in conjunction with a magnetron, generates stable plasma. It is widely used in microwave plasma processing systems.

application area 

Semiconductor Manufacturing

Microwave energy transfer in plasma etching process

Chemical Vapor Deposition (CVD) Thin Film Growth Process

Material surface treatment

Surface modification, cleaning, and activation processes

Microwave assisted coating deposition

Research and industrial microwave plasma equipment

Various laboratory and industrial grade microwave plasma reactors

Used for developing and optimizing plasma processes

summarize

Gasonics A93-021-05/D magnetron waveguide module is a key component in microwave plasma systems in the semiconductor and material processing fields, ensuring efficient transmission of microwave energy and process stability.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

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品牌：Gasonics

型号：A93-021-05/D磁控波导模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱