Tokyo Electron 2L39-000039-25自动匹配器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

Tokyo Electron 2L39-000039-25 自动匹配器（Automatic Matching Network） 是半导体制造设备中用于射频（RF）系统的关键模块，主要功能是自动调整射频功率源与负载之间的阻抗匹配，以优化射频能量传输效率，保证工艺稳定性和设备安全。

一、产品功能定位

• 模块类型：自动阻抗匹配网络

• 主要功能：

• 实时检测负载阻抗变化，自动调节匹配电路参数；

• 最大限度减少反射功率，提升射频传输效率；

• 保护射频功率源，防止过载和故障；

• 支持多种射频功率级别，满足不同工艺需求。

二、主要应用领域

1. 等离子体蚀刻设备

• 保持等离子体稳定，提升蚀刻均匀性；

• 自动适应工艺气体及腔体变化带来的阻抗波动。

2. 化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）设备

• 优化射频能量输入，提高薄膜质量和一致性；

• 支持多工艺参数切换，提升生产灵活性。

3. 等离子增强工艺（PECVD、RIE）

• 实现快速自动匹配，减少设备调试时间；

• 提升设备运行效率和稳定性。

英文资料：

The Tokyo Electron 2L39-000039-25 Automatic Matching Network is a key module used in semiconductor manufacturing equipment for radio frequency (RF) systems. Its main function is to automatically adjust the impedance matching between the RF power source and the load to optimize RF energy transfer efficiency, ensure process stability and equipment safety.

1、 Product functional positioning

Module type: Automatic impedance matching network

Main functions:

Real time detection of load impedance changes and automatic adjustment of matching circuit parameters;

Minimize reflected power and improve RF transmission efficiency to the greatest extent possible;

Protect the RF power source to prevent overload and malfunction;

Support multiple RF power levels to meet different process requirements.

2、 Main application areas

1. Plasma etching equipment

Maintain plasma stability and improve etching uniformity;

Automatically adapt to impedance fluctuations caused by process gas and chamber changes.

2. Chemical vapor deposition (CVD) and physical vapor deposition (PVD) equipment

Optimize RF energy input to improve film quality and consistency;

Support multi process parameter switching to enhance production flexibility.

3. Plasma enhanced processes (PECVD, RIE)

Realize fast automatic matching and reduce equipment debugging time;

Improve equipment operation efficiency and stability.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

GE TB43225AF14 断路器

GE DS3820PSCB1C1B电源模块

GE PIB671-1500 电源接口板

4.其他英文产品

ABB UN0841B-P Analog Module

ASEA E-31709 Robot Circuit Board

IS200EPSMG1ABB Analog Input Module

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：2L39-000039-25自动匹配器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱