Tokyo Electron 3Z39-000005-V1自动匹配器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

产品名称

TEL Tokyo Electron 3Z39-000005-V1 自动匹配器

产品类型

射频自动阻抗匹配器（RF Auto Matcher）

设备功能

该模块用于 Tokyo Electron 半导体设备中，主要用于：

• 在高频射频系统中执行自动阻抗匹配

• 确保 RF 发射器与等离子体负载之间的阻抗最优化

• 降低反射功率，提高能量耦合效率

• 保护 RF 发射器、等离子腔体、匹配网络等关键部件

典型应用

适用于 Tokyo Electron 的刻蚀、CVD、ALD 等工艺系统，通常与 Daihen 等品牌的射频电源配套使用。常见于：

• Clean Track 系统

• 真空腔体内的等离子控制模块

• 需要高速响应的射频控制场景

技术参数（可能对应 Daihen RMN-20K3-V）

• 工作频率：13.56 MHz 或其他高频工业标准

• 功率支持范围：最多可达 20kW（具体视版本而定）

• 自动控制：具备实时反馈匹配算法

• 接口标准：工业标准射频接口，可与 TEL 原厂或第三方 RF 系统集成

英文资料：

product name

TEL Tokyo Electron 3Z39-000005-V1 Automatic Matcher

product type

RF Auto Matcher

Equipment functions

This module is used in Tokyo Electron semiconductor equipment, mainly for:

Performing automatic impedance matching in high-frequency RF systems

Ensure optimal impedance between RF transmitter and plasma load

Reduce reflection power and improve energy coupling efficiency

Protect key components such as RF transmitters, plasma chambers, and matching networks

Typical applications

Suitable for etching, CVD, ALD and other process systems of Tokyo Electron, usually used in conjunction with RF power supplies from brands such as Daihen. Commonly seen in:

Clean Track System

Plasma control module inside the vacuum chamber

RF control scenarios that require high-speed response

Technical parameters (possibly corresponding to Daihen RMN-20K3-V)

Operating frequency: 13.56 MHz or other high-frequency industry standards

Power support range: up to 20kW (depending on version)

Automatic control: equipped with real-time feedback matching algorithm

Interface standard: Industrial standard RF interface, can be integrated with TEL original or third-party RF systems

2.产      品      展      示      

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：3Z39-000005-V1自动匹配器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱