Tokyo Electron TW39-000021-11射频自动调音台 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

产品名称

TEL Tokyo Electron TW39-000021-11 射频自动调音台

产品类型

射频自动匹配器（RF Auto Matching Unit）

功能简介

该模块用于 Tokyo Electron 半导体设备中，主要用于：

• 在射频（RF）系统中对阻抗进行自动调谐匹配

• 使射频功率源与等离子体负载之间达到最佳匹配，降低反射功率

• 提高能量传输效率，保护射频发生器和负载元件

主要技术特性（典型参数）

• 工作频率：13.56 MHz 或 40.68 MHz（具体型号决定）

• 射频功率范围：2kW 至 20kW（依据应用设备功率等级）

• 反应速度快，适合快速调谐等离子体工艺中的负载变化

• 自动调整电容/电感匹配网络，实现实时阻抗匹配

应用领域

广泛用于 Tokyo Electron 的以下半导体设备中：

• 等离子体刻蚀系统

• 化学气相沉积（CVD）系统

• 原子层沉积（ALD）设备

• 清洗设备等涉及高频等离子体的系统

英文资料：

product name

TEL Tokyo Electron TW39-000021-11 RF Automatic Mixing Console

product type

RF Auto Matching Unit

Function Introduction

This module is used in Tokyo Electron semiconductor equipment, mainly for:

Automatic impedance tuning and matching in radio frequency (RF) systems

Achieve optimal matching between RF power source and plasma load, and reduce reflected power

Improve energy transmission efficiency, protect RF generators and load components

Main technical characteristics (typical parameters)

Operating frequency: 13.56 MHz or 40.68 MHz (specific model to be determined)

RF power range: 2kW to 20kW (depending on the power level of the application device)

Fast response speed, suitable for quickly tuning load changes in plasma processes

Automatically adjust the capacitor/inductor matching network to achieve real-time impedance matching

application area 

Widely used in the following semiconductor devices of Tokyo Electron:

Plasma etching system

Chemical Vapor Deposition (CVD) System

Atomic Layer Deposition (ALD) equipment

Cleaning equipment and other systems involving high-frequency plasma

2.产      品      展      示      

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：TW39-000021-11射频自动调音台

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱