Tokyo Electron 3D80-000259-15控制器机架 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

产品名称：3D80-000259-15 控制器机架
制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子）
产品类型：控制器机架（Controller Rack / Module Chassis）

一、产品概述

3D80-000259-15 控制器机架 是 Tokyo Electron 半导体设备中用于安装和集中管理多个控制模块、电路板卡、电源单元等部件的标准化机架结构件。该机架提供统一的物理支持、电气接口及信号分配基础，保障控制系统结构有序、运行可靠。

二、核心功能

1. 模块化安装平台

• 提供标准插槽或固定位置，用于安装控制板、I/O 模块、电源卡、通信接口等功能单元。

2. 集中供电与信号分配

• 内部集成背板（Backplane）或接线排，用于统一供电、数据通信及信号中继。

3. 结构支撑与防护

• 采用高强度金属材料制造，适配洁净室及工业环境，具备一定的抗震与抗电磁干扰能力。

4. 热管理支持

• 支持风冷、导热或自然对流散热方式，有利于机内电子模块稳定运行。

三、典型应用系统

该控制器机架适用于 Tokyo Electron 各类半导体设备中的主控与子系统控制平台，如：

• 蚀刻系统（Etcher）主控区

• CVD / PVD 薄膜沉积设备子控制单元

• 搬运控制系统（EFEM、机器人、Loadport）

• 真空腔体控制子系统、电源驱动控制区

英文资料：

Product Name: 3D80-000259-15 Controller Rack

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd

Product Type: Controller Rack/Module Chassis

1、 Product Overview

The 3D80-000259-15 controller rack is a standardized rack structure component used in Tokyo Electron semiconductor equipment for installing and centrally managing multiple control modules, circuit boards, power units, and other components. This rack provides a unified physical support, electrical interface, and signal distribution foundation to ensure the orderly structure and reliable operation of the control system.

2、 Core functions

Modular installation platform

Provide standard slots or fixed positions for installing functional units such as control boards, I/O modules, power cards, communication interfaces, etc.

Centralized power supply and signal distribution

Internally integrated backplane or wiring board, used for unified power supply, data communication, and signal relay.

Structural support and protection

Made of high-strength metal materials, suitable for clean rooms and industrial environments, with certain seismic and electromagnetic interference resistance capabilities.

Thermal management support

Supporting air cooling, heat conduction, or natural convection heat dissipation methods is beneficial for the stable operation of electronic modules inside the machine.

3、 Typical application system

This controller rack is suitable for the main control and subsystem control platforms in various semiconductor devices of Tokyo Electron, such as:

Etcher main control area

CVD/PVD thin film deposition equipment sub control unit

Handling control systems (EFEM, robots Loadport）

Vacuum chamber control subsystem, power drive control area

2.产      品      展      示      

3.其他产品

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4.其他英文产品

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LAM 810-800081-016 CPU motherb

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：3D80-000259-15控制器机架

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱