Tokyo Electron 3D80-000259-16控制器模块 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

一、基本信息

• 产品型号：3D80-000259-16

• 产品名称：控制器模块（Controller Module）

• 制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子）

• 模块类型：专用控制逻辑板 / 嵌入式控制器

• 适用设备：应用于 TEL 的半导体制造设备，如蚀刻机（Etcher）、CVD 系统、晶圆处理平台等。

二、功能定位

1. 工艺单元控制核心

• 管理某个子系统的全部控制逻辑，例如：气体流量控制、真空泵操作、温控模块驱动等。

2. 数据采集与控制输出

• 接收来自传感器的输入（温度、压力、气体流量等），并生成控制输出信号到执行器（阀门、泵、风扇等）。

3. 系统状态管理与安全保护

• 监控设备状态，执行联锁控制、报警响应、异常处理逻辑等安全功能。

4. 与主系统通信

• 通过 TEL 内部通信协议或工业总线（如 RS-485、CAN）与主控板或人机界面交换数据。

三、应用领域

• CVD、Etch、Ashing、Coater/Developer 等制程设备子系统

• 气体配比控制单元（GDU）

• 温控模块（Heater / Chiller）

• 输送控制系统（Wafer Transfer / Load Port）

• 设备辅助功能控制，如抽气/排气、干燥、清洗等过程段

英文资料：

1、 Basic Information

Product model: 3D80-000259-16

Product Name: Controller Module

Manufacturer: Tokyo Electron Ltd

Module type: dedicated control logic board/embedded controller

Applicable equipment: Semiconductor manufacturing equipment used in TEL, such as etchers, CVD systems, wafer processing platforms, etc.

2、 Functional positioning

Process unit control core

Manage all control logic of a subsystem, such as gas flow control, vacuum pump operation, temperature control module drive, etc.

Data collection and control output

Receive inputs from sensors (temperature, pressure, gas flow, etc.) and generate control output signals to actuators (valves, pumps, fans, etc.).

System state management and security protection

Monitor equipment status, perform safety functions such as interlocking control, alarm response, and exception handling logic.

Communicate with the main system

Exchange data with the main control board or human-machine interface through TEL internal communication protocol or industrial bus (such as RS-485, CAN).

3、 Application Fields

CVD, Etch, Ashing, Coach/Developer and other process equipment subsystems

Gas Ratio Control Unit (GDU)

Temperature control module (Heater/Chiller)

Wafer Transfer/Load Port Control System

Control of auxiliary functions of equipment, such as extraction/exhaust, drying, cleaning and other process stages

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ABB RTU560 560CMD11 通信单元

GE EVPBDP0001 EVPBDP032 控制器

ASEA 57360001-HG电路板卡

4.其他英文产品

IC3600SPRB1 Gas Turbine Contro

ASEA ES1211 module board

ABB UN0807C-P Programmable Controller

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品牌：TEL Tokyo Electron

型号：3D80-000259-16控制器模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱