Tokyo Electron 3T81-000003-1电路板 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
一、基本信息
产品型号：3T81-000003-1
产品名称：电路板（Circuit Board）
制造商：Tokyo Electron Ltd.（东京电子）
产品类别：控制/接口类印刷电路板（PCB）
适用设备：应用于 TEL 半导体制造设备（如蚀刻、CVD、清洗等设备系列）
二、功能定位
设备控制与信号处理
用作设备子系统中的控制核心板或接口中继板，负责接收、传输、处理数字或模拟信号。
模块化系统集成部件
起到连接主控系统与执行模块之间的桥梁作用，承载控制逻辑或数据分发任务。
数据通信与输入/输出控制
可能承担 I/O 控制、电平转换、传感器/执行器信号管理等功能。
三、应用领域
半导体设备控制系统内部
蚀刻系统（Etch）
化学气相沉积系统（CVD）
干法清洗系统（Dry Cleaner）
输送/搬送控制系统（Transfer/Handler）
广泛用于 Tokyo Electron 的制程设备中，如：
设备子系统之间的信号接口层
安装于设备主机或分体模块中，用于整合和路由关键控制信号。
英文资料：
1、 Basic Information
Product model: 3T81-000003-1
Product Name: Circuit Board
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
Product Category: Control/Interface Printed Circuit Board (PCB)
Applicable equipment: Used in TEL semiconductor manufacturing equipment (such as etching, CVD, cleaning and other equipment series)
2、 Functional positioning
Equipment Control and Signal Processing
Used as a control core board or interface relay board in device subsystems, responsible for receiving, transmitting, and processing digital or analog signals.
Modular system integration components
Plays a bridging role between the main control system and the execution module, carrying control logic or data distribution tasks.
Data Communication and Input/Output Control
May undertake functions such as I/O control, level conversion, sensor/actuator signal management, etc.
3、 Application Fields
Internal control system of semiconductor equipment
Widely used in the process equipment of Tokyo Electron, such as:
Etch etching system
Chemical Vapor Deposition System (CVD)
Dry Cleaner system
Transfer/Handler Control System
Signal interface layer between device subsystems
Installed in the device host or split module, used for integrating and routing critical control signals.
2.产 品 展 示
3.其他产品
KOLLMORGEN 60WKS-CE240 22PB 伺服驱动器
4.其他英文产品
UFC760BE143 inverter high-voltage board
| CGC 200 |  531X306LCCBEM1 | NTRLO2A |
| CA950-IO | Gespac GESINP-2B 8720 | NTCF01 |
| BAF3644-5081-56BC | Gespac GESCIO-1 8915 | NMFC03 |
| BA3724-4489-56C | GESPAC GESDAC-1 GESDAC1 | NMFC04 |
| BA3648-4650-9-56BC | ADC-12A GESADC-12A 9310 GESPCB-334 | IMMFP03 |
| BA3644-4249-1-48C | GESPAC GESXT-11 GESXT11 | IMMPI01 |
| BA3640-7013-1 | 6SC6100-0GC14 | IIMCP01 |
