KLA Tencor  710-603180-003接口板 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

KLA Tencor 710-603180-003 接口板

（Digital Deflection Generator Interface Board）

产品简介

KLA Tencor 710-603180-003 是一款用于电子束（e-beam）检测设备中的数字偏转发生器接口板。该板卡是系统中的关键组件之一，主要作用是为电子束的偏转控制系统提供精确的电信号，以便实现高分辨率图像采集和表面缺陷检测。

主要功能

• 控制电子束在晶圆表面上的精密移动

• 与电子束控制系统（Digital Deflection Generator）直接通信

• 支持高频、高精度信号输出，确保检测准确性

• 协同图像处理系统优化整体检测质量

应用领域

• 晶圆缺陷检测设备

• 半导体生产线质量控制系统

• 精密扫描成像系统

• 研发实验室的工艺评估与调试平台

技术信息（概述）

• 型号/部件号：710-603180-003

• 类型：接口板组件（Interface Board Assembly）

• 制造商：KLA Tencor

• 常见设备：应用于 KLA 的电子束检测设备，如 eS 系列或 e-Beam 相关系统

英文资料：

KLA Tencor 710-603180-003 Interface Board

（Digital Deflection Generator Interface Board）

Product Introduction

KLA Tencor 710-603180-003 is a digital deflection generator interface board used in electron beam (e-beam) detection equipment. This board is one of the key components in the system, mainly used to provide accurate electrical signals for the deflection control system of the electron beam, in order to achieve high-resolution image acquisition and surface defect detection.

major function 

Control the precise movement of the electron beam on the wafer surface

Direct communication with the Digital Reflection Generator system for electron beam control

Support high-frequency and high-precision signal output to ensure detection accuracy

Optimizing the overall detection quality of collaborative image processing system

application area 

Wafer defect detection equipment

Quality Control System for Semiconductor Production Line

Precision scanning imaging system

Process evaluation and debugging platform for R&D laboratory

Technical Information (Overview)

Model/Part Number: 710-603180-003

Type: Interface Board Assembly

Manufacturer: KLA Tencor

Common equipment: Electron beam detection equipment applied to KLA, such as eS series or e-beam related systems

2.产      品      展      示      

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品牌：KLA Tencor

型号：710-603180-003接口板

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱