LAM 660-072826-200射频发电机 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

中文资料：

LAM 660-072826-200射频发电机主要应用于半导体制造和高精度工艺中，提供稳定的射频能量，支持等离子体生成和控制。其主要应用领域包括：

1. 半导体制造：

• 化学气相沉积（CVD）：为反应气体提供能量，生成薄膜，应用于集成电路制造。
• 等离子体刻蚀：生成等离子体去除材料或形成微细图案。

2. 等离子体处理：

• 等离子体清洗：去除污染物，确保材料表面的高质量。
• 表面改性：增强材料的附着力、润湿性等特性。

3. 微电子设备制造：

• 薄膜沉积：精确控制薄膜厚度和均匀性，应用于电子器件制造。

4. 光伏行业：

• 太阳能电池制造：用于薄膜沉积和刻蚀，确保高效能量转换。

LAM 660-072826-200通过提供高效、稳定的射频输出，支持多个高精度工业和科学领域。

英文资料：

The LAM 660-072826-200 RF generator is mainly used in semiconductor manufacturing and high-precision processes, providing stable RF energy and supporting plasma generation and control. Its main application areas include:

1. Semiconductor manufacturing:

Chemical Vapor Deposition (CVD): Provides energy to reaction gases, generates thin films, and is applied in integrated circuit manufacturing.

Plasma etching: Generating plasma to remove materials or form fine patterns.

2. Plasma treatment:

Plasma cleaning: Removing pollutants to ensure high-quality material surfaces.

Surface modification: enhances the adhesion, wettability, and other properties of materials.

3. Manufacturing of microelectronic devices:

Thin film deposition: precise control of thin film thickness and uniformity, applied in electronic device manufacturing.

4. Photovoltaic industry:

Solar cell manufacturing: used for thin film deposition and etching to ensure efficient energy conversion.

LAM 660-072826-200 supports multiple high-precision industrial and scientific fields by providing efficient and stable RF output.

2.产      品      展      示      

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品牌：LAM 

型号：660-072826-200射频发电机

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123